薄膜的横断面观察最重要的是观察膜厚、膜与基板的界面状态、薄膜的颗粒性、与不同种类薄膜的层间结合以及扩散性。
用扫描探针显微镜观察氧化硅薄膜横截面，测定薄膜厚度约为477nm。同时可以观察到氧化膜内颗粒性及膜与基板的界面状态。
