这需要在亿分之几 (ppt)的等级进行离子检测。这里显示的是用离子色谱仪对半导体清洗水中微量离子的分析图。
离子色谱仪
此分离／分析仪器被广泛应用于无机离子的定量分析。抑制型的离子色谱仪允许精确到ppb等级的超高灵敏度分析。非抑制型离子色谱仪可支持多种应用。
