集成电路芯片上的异物可通过红外显微镜进行测量。红外显微镜对分析来自大气灰尘中或制作过程中使用的原材料的有机异物非常有效。

图中的异物呈现出特征的酰胺化合物谱峰，表明这个异物是源于生物的，例如皮肤碎片。

红外光谱仪－显微镜系统

红外光谱可根据分子振动的特征模式，来提供样品分子结构的信息。与红外显微镜配合使用可对小至10um的微观异物进行分析。