电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）提供宽动态范围、高灵敏度分析。另外，该质谱仪还可对微量无机成分（例如：同一溶液所含的镉、砷和硒等）进行批分析。下表表示糙米、番茄叶和柑橘叶的分析结果。

电感耦合等离子体质谱仪

样品溶液先由等离子体高效电离，再用质谱仪进行分离和分析。该仪器可实现多元素的高灵敏同步分析、简单的定性分析和同位素分析。该仪器为四极杆质谱仪，可提高紧密度。